复合机器人(AGV+ROBOT)|自主移动机器人(AGV,AMR)|仓储物流机器人-功夫机器人
半导体复合机器人

半导体复合机器人

创新的工业4.0解决方案

赋能半导体行业 重塑企业核心竞争力

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解决方案


半导体行业对生产环境要求十分严格, KUNGFU ARCO系列复合机器人 具有防震,防抖动,静音生产特性,终端定位精度高达±0.05mm, CLASS 100洁净度适应高柔性化生产模式,可满足FOUP、FOSB、 Wafer Casstte、 CST、及MGZ等在机台间的上下料、转运工作, 能为半导体生产应用提供高效的系统解决方案。

复合机器人自动化上下料方案

场景功能

半导体后段制程程序仍高度依赖人力,人工搬运容易造成损坏,采用KUNGFU ARCO系列复合机器人可减少损坏提升效率。半导体部分制程会使用到有毒性的材料, 也可以避免工安事件产生,是工业4.0智能工厂的最佳帮手。

方案优势

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