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移动协作机器人是半导体自动化设备的重要组成部分

2021-09-28浏览量:1017

    

      半导体行业制造工艺对清洁度和环境要求非常高,通常很难通过人工操作来维持所需的洁净室条件。通过移动协作机器人代替人工在各个设备之间传输晶圆盒,不仅可以提高工厂的生产效率,而且可以完全实现数字化生产,监控每一片晶圆的生产过程,保证产品的品质。

                            

        移动协作机器人自动化搬运避免环境被污染

       晶圆是非常昂贵又易被损坏的,需要在隔离的洁净室环境中进行的,洁净室环境湿度、温度和颗粒污染都有指定的参数范围。工作人员只有在穿戴防护服把全身皮肤和毛发全部覆盖,携带的笔记本电脑和其他设备等都经过空气洗净室吹洗后才能进入无尘车间。即使穿着洁净服,人们也会散落大量颗粒,尤其是在行走时。尽可能减少人员在无尘车间走动能大幅度降低环境被污染的风险,因此用移动协作机器人代替人工实现自动化搬运能避免环境被污染的风险。

      移动协作机器人自动化搬运效率高

      晶圆生产是极其复杂的过程,多达1200个制程,在这过程中,晶圆需要从一个自动化加工站转移到下一个自动化加工站。通过移动协作机器人替代人工搬运,进一步提升半导体制造工厂的自动化生产模式,实现物料精准送达,稳定生产节拍,空间、设备利用率都能大幅提高。而员工可以从日常手工搬运的工作中解脱出来,通过参加职业培训提升技能,发挥自己更大的优势。

     移动协作机器人自动化搬运品质保证

     传统的晶元搬运工作是有人工来完成,人工搬运除了有人事成本费用过高的缺点之外,人工搬运过程难免出现抖动、粗暴作业等情况,容易导致产品良率降低。半导体移动协作机器人在运行时抗震率达到最低可达0.04G、远远低于SEMI标准0.5G,具有高精度高稳定性,能有效保证产品的品质。移动协作机器人自动化搬运实现数字化生产,监控每一片晶圆的生产过程,做到生产过程可溯源。

     移动协作机器人又叫复合作业机器人,功夫机器人针对半导体行业专业研发的晶圆盒搬运机器人洁净等级达class100,抗震率可低于0.04G远远低于SEMI标准0.5G,具有安静运行、精确、寿命长、用户友好的特点,可以在工艺机器设备和存储架之间完全自主地运输晶圆,使晶圆处理需求可以灵活地满足,是现代高自动化晶圆搬运的完美解决方案。

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